Design Strategy for Material Properties of Multi-layered Ti/Au Micro-components by Electrodeposition Towards Ultra-high Sensitive MEMS Inertial Sensors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design Strategy for Material Properties of Multi-layered Ti/Au Micro-components by Electrodeposition Towards Ultra-high Sensitive MEMS Inertial Sensors

著者

和文:	曽根正人, 栗岡智行, 彦坂元, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博.
英文:	Masato Sone, Tomoyuki Kurioka, Gen Hikosaka, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 9th International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2026)

巻, 号, ページ

出版年月

2026年7月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 9th International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2026)

開催地

和文:
英文:	松江