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論文・著書情報


タイトル
和文:六方晶窒化ホウ素多層膜を用いた完全歪み緩和Ti O 薄膜の実現 
英文: 
著者
和文: 菅野 圭太朗, 相馬 拓人, 深町 悟, 吾郷 浩樹, 奥山 大輔, 大友 明, 吉松 公平.  
英文: Keitaro Kanno, Takuto Soma, 深町 悟, 吾郷 浩樹, Daisuke Okuyama, Akira Ohtomo, Kohei Yoshimatsu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2026年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:第87回応用物理学会秋季学術講演会 
開催地
和文:札幌 
英文: 

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