Material &amp; Structural Design of Multi- layered Ti/Au Micro-components by Precise Electrodeposition Towards Nano-G Resolution MEMS Capacitive Inertial Sensors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Material & Structural Design of Multi- layered Ti/Au Micro-components by Precise Electrodeposition Towards Nano-G Resolution MEMS Capacitive Inertial Sensors

著者

和文:	曽根正人, 栗岡智行, 彦坂元, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 町田克之, 伊藤浩之, Hirotake Uchitomi, Daiki Ogata, 三宅美博.
英文:	Masato Sone, Tomoyuki Kurioka, Gen Hikosaka, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Hirotake Uchitomi, Daiki Ogata, Yoshihiro Miyake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	European Materials Research Society

巻, 号, ページ

出版年月

2026年9月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	European Materials Research Society

開催地

和文:
英文:	Warsaw