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加藤誠軌 研究業績一覧 (4件)
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論文
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今下勝博,
舟窪浩,
木枝暢夫,
加藤誠軌,
水谷惟恭.
金属アルコキシドを原料としたCVD法によるTiO2-ZrO2薄膜の合成,
日本化学会誌,
No. 12,
pp. 1395-1401,
1990.
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舟窪浩,
水谷惟恭,
小林幹雄,
木枝暢夫,
加藤誠軌.
CVD法によるTaNx-TiN薄膜の合成,
日本セラミックス協会学術論文誌,
Vol. 98,
No. 2,
pp. 168-173,
1990.
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舟窪浩,
小林幹雄,
木枝暢夫,
加藤誠軌,
水谷惟恭.
CVD法による窒化タンタル薄膜の合成とその析出機構,
化学工学論文集,
Vol. 16,
No. 3,
pp. 430-437,
1990.
学位論文
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