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寺西美波 2017年 研究業績一覧 (7件 / 21件)
論文
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Koichiro Tachibana,
Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
LONG-TERM VIBRATION CHARACTERISTICS OF MEMS INERTIAL SENSORS BY MULTI-LAYER METAL TECHNOLOGY,
Proceedings of the 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS),
IEEE Conference Publications,
pp. 2187 - 2190,
Aug. 2017.
国際会議発表 (査読有り)
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Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Structure Stability Enhancement of Gold Micro-Cantilever with a Constrained at Top and Bottom of the Fixed-End,
43rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2017),
MNE2017,
Sept. 2017.
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Koichiro Tachibana,
Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology,
The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017),
pp. 2187-2190,
June 2017.
公式リンク
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Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Daisuke Yamane,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices,
21th International Conference on Solid State Ionics,
June 2017.
国内会議発表 (査読有り)
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山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
橘 航一朗,
寺西 美波,
陳 君怡,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根 正人,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価,
第9回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2017.
公式リンク
国内会議発表 (査読なし・不明)
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山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
橘 航一朗,
寺西 美波,
陳 君怡,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根 正人,
町田 克之,
益 一哉.
金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討,
第78回 応用物理学会 秋季学術講演会,
Sept. 2017.
公式リンク
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山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
中島 英亮,
寺西 美波,
陳 君怡,
Chang Tso-Fu Mark,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(1),
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-14,
Mar. 2017.
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