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折原恒祐 2017年 研究業績一覧 (1件 / 1件)
国内会議発表 (査読有り)
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折原 恒祐,
高安 基大,
道正 志郎,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
小西 敏文,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討,
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
31am3-PLN-2,
Oct. 2017.
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