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2016年 研究業績一覧 (5件 / 19件)
論文
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Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers,
Microelectronics Engineering,
Vol. 153,
pp. 90-93,
Apr. 2016.
国際会議発表 (査読有り)
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Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating,
ISE - Topical Meeting,
ISE - Topical Meeting,
Apr. 2016.
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Yota Ishizuka,
Sari Yanagida,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure,
ISE - Topical Meeting,
ISE - Topical Meeting,
Apr. 2016.
国内会議発表 (査読有り)
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石塚 陽大,
柳田 佐理,
TSO-FU MARK CHANG,
陳 君怡,
町田 克之,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人,
益 一哉,
曽根 正人.
マイクロ圧縮試験による金/チタン積層構造の機械的特性評価,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2016.
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寺西 美波,
TSO-FU MARK CHANG,
陳 君怡,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2016.
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