|
益一哉 2021年 研究業績一覧 (21件 / 1030件)
論文
-
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Noboru Ishihara,
Yoshihiro Miyake,
Kazuya Masu.
A Highly Sensitive MEMS Accelerometer Module for Measuring Micro Muscular Sounds,
ECS Transactions,
Vol. 104,
No. 4,
pp. 83-91,
Oct. 2021.
-
Hitomi Watanabe,
Tso-Fu Mark Chang,
Michael Schneider,
Ulrich Schmid,
Chun-Yi Chen,
Shinichi Iida,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Effective Young’s Modulus of Complex Three Dimensional Multilayered Ti/Au Micro-Cantilevers Fabricated by Electro-deposition and the Temperature Dependency,
Electrochem,
MDPI,
Vol. 2,
pp. 216-223,
Apr. 2021.
公式リンク
著書
-
Tso-Fu Mark Chang,
Hideaki Nakajima,
Chun-Yi Chen,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone.
Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers,
Advances in Microelectronics: Reviews,
IFSA PUBLISHING, S.L.,
Vol. 3,
Apr. 2021.
国際会議発表 (査読有り)
-
Yu-An Chien,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Electro-co-deposition of Au-TiO2 Composites with Improved Mechanical Property toward Miniaturized Electronics,
The 2021 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies (Pacifichem 2021),
Dec. 2021.
-
Kazuya Fujita,
Kosuke Suzuki,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Micro-Mechanical Property of Single Crystal Gold for Applications in Microelectronics,
TACT2021 International Thin Films Conference,
TACT2021 International Thin Films Conference,
Nov. 2021.
-
Takumi Akiyama,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Alloy Electrodeposition of Gold-Nickel Alloys and the Mechanical Property in Micro-Scale,
TACT2021 International Thin Films Conference,
TACT2021 International Thin Films Conference,
Nov. 2021.
-
Taro Omura,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Effect of Current Density on Micro-Mechanical Characteristic of Electrodeposited Gold Evaluated from Cyanide Bath,
TACT2021 International Thin Films Conference,
TACT2021 International Thin Films Conference,
Nov. 2021.
-
Takumi Akiyama,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Components,
Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021),
Sept. 2021.
-
Taro Omura,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Effect of Current Density on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test,
Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021),
Sept. 2021.
-
Kazuya Fujita,
Kosuke Suzuki,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Mechanical Property of Gold Micro-Cantilevers for Application in Microelectronics and the Sample Geometry Effect,
Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021),
Sept. 2021.
-
Akihiro Uchiyama,
Takasi Ichikawa,
Kohei Shibata,
Shinichi Iida,
Sangyeop Lee,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Hiroyuki Ito.
A MEMS accelerometer with a single axis two proof masses for a wide detection range,
Transducers,
June 2021.
-
Takasi Ichikawa,
Akihiro Uchiyama,
Kohei Shibata,
Shinichi Iida,
Sangyeop Lee,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Hiroyuki Ito.
A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer,
Inertial,
Mar. 2021.
国内会議発表 (査読有り)
-
藤田 一矢,
鈴木 康介,
陳 君怡,
Chang Tso-Fu Mark,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
町田 克之,
益 一哉,
曽根 正人.
金単結晶微小カンチレバーの機械的特性とサンプル形状効果,
第82回応用物理学会秋季学術講演会,
第82回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2021.
-
曽根 正人,
Tso-Fu Mark Chang,
名越貴志,
町田 克之,
山根 大輔,
伊藤浩之,
益 一哉.
医用MEMSデバイス応用に向けた 微小貴金属めっき材料の機械的特性評価,
日本金属学会 2021年春季講演大会,
日本金属学会 2021年春季講演大会,
Mar. 2021.
国内会議発表 (査読なし・不明)
-
内山晃宏,
柴田滉平,
大西哲,
市川崇志,
飯田慎一,
李尚曄,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサの検討,
第13回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2021.
-
大西哲,
内山晃宏,
柴田滉平,
市川崇志,
李尚曄,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
3次元容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第13回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2021.
-
柴田滉平,
内山晃宏,
大西哲,
李尚曄,
町田克之,
石原昇,
益一哉,
伊藤浩之.
Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討,
第13回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2021.
-
大西哲,
内山晃宏,
柴田滉平,
市川崇志,
李尚曄,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第82回 応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2021.
-
柴田滉平,
内山晃宏,
大西哲,
李尚曄,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討,
令和3年度E部門総合研究会,
July 2021.
-
市川 崇志,
古賀 達也,
飯田 慎一,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉,
伊藤 浩之.
単一 Au 錘 3 軸加速度センサのための分割容量検出 2 重電極に関する検討,
令和2年度E部門総合研究会,
July 2021.
-
内山晃宏,
市川崇志,
柴田滉平,
飯田慎一,
李尚曄,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
ワイドレンジ検出可能なAu錘1軸MEMS加速度センサ の検討,
応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2021.
特許など
-
益一哉,
曽根正人,
Tso-Fu Mark Chang,
陳君怡,
山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭 ,
町田 克之.
微細素子およびその製造方法.
特許.
登録.
国立大学法人東京工業大学, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社.
2017/03/22.
特願2017-055730.
2018/10/11.
特開2018-158394.
特許第6818299号.
2021/01/05
2021.
-
益一哉,
山根大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
町田 克之.
微細素子の製造方法.
特許.
登録.
国立大学法人東京工業大学, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社.
2017/03/22.
特願2017-055732.
2018/10/11.
特開2018-159573.
特許第6840339号.
2021/02/19
2021.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|