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Publication Information


Title
Japanese:ICP放電窒素プラズマへのアルゴン混入による非平衡性の変化 
English:Changes in non - equilibrium properties due to argon contamination of ICP discharge nitrogen plasma 
Author
Japanese: 櫻井 彩貴, 山下 雄也, YE YUCHEN, 島谷 和希, 福本 晃己, 根津 篤, 赤塚 洋.  
English: Ayaki Sakurai, Yuya Yamashita, Yuchen Ye, Kazuki Shimatani, Koki Fukumoto, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:令和 7 年電気学会全国大会 講演論文集 
English:Proceedings of the 2025 Annual Meeting IEE of Japan 
Volume, Number, Page         p. 62
Published date Mar. 1, 2025 
Publisher
Japanese:一般社団法人 電気学会 
English:The Institute of Electrical Engineers of Japan 
Conference name
Japanese:令和 7 年電気学会全国大会 
English:The 2025 Annual Meeting IEE of Japan 
Conference site
Japanese:東京 
English:Tokyo 
Abstract 本研究では，窒素プラズマへのアルゴン添加がプラズマ状態に及ぼす影響を解明することを目的とし，アルゴンを混合した窒素プラズマ中の窒素分子の回転温度および振動温度を分光法を用いて測定した。窒素プラズマは誘導結合プラズマ放電により生成し，アルゴン添加プラズマ中の窒素分子からの発光スペクトルを分光計により取得した。得られたスペクトルを理論的に計算したスペクトルにフィッティングすることにより，窒素分子の回転温度および振動温度を算出した。さらに，アルゴンの混入率および印加電力を変化させて測定を行い，回転温度および振動温度の二次元分布を評価した。

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