静電容量型MEMS加速度センサにおける金錘の形状による反り抑制の検討

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Title

Japanese:	静電容量型MEMS加速度センサにおける金錘の形状による反り抑制の検討
English:

Author

Japanese:	奥村雅子, 栗岡智行, 森達彦, 山田虎人, 向出隼人, Chun Yi-Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
English:	奥村雅子, Tomoyuki Kurioka, Tatsuhiko Mori, Torauto Yamada, 向出隼人, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

Oct. 2025

Publisher

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Conference name

Japanese:	第17回集積化MEMSシンポジウム
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