Effect of seed layer deposition time and thickness on low-temperature crystallization and electrical properties of Pb(Zr,Ti)O3 films by metalorganic chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of seed layer deposition time and thickness on low-temperature crystallization and electrical properties of Pb(Zr,Ti)O3 films by metalorganic chemical vapor deposition

著者

和文:	文志原, 脇谷尚樹, 藤戸啓輔, Naohiko Iimori, 木口賢紀, 吉岡朋彦, 田中順三, 篠崎和夫.
英文:	Ji-Won Moon, Naoki Wakiya, Keisuke Fujito, Naohiko Iimori, Takanori Kiguchi, Tomohiko Yoshioka, Junzo Tanaka, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science and Engineering B

巻, 号, ページ

Vol. 148 p. 22-25

出版年月

2008年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: