パルスMOCVD法PZT系強誘電体薄膜の微構造と誘電特性に及ぼす原料供給方式の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	パルスMOCVD法PZT系強誘電体薄膜の微構造と誘電特性に及ぼす原料供給方式の影響
英文:	パルスMOCVD法PZT系強誘電体薄膜の微構造と誘電特性に及ぼす原料供給方式の影響

著者

和文:	藤戸啓輔.
英文:	keisuke fujito.

種別

種別:	学位論文(修士)
国名:

言語

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

学位授与日

2003/--/--

審査員