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論文・著書情報


タイトル
和文:Si基板上にバッファ層を導入してエピタキシャル成長させたPZT薄膜の残留応力と電気的特性に関する研究 
英文: 
著者
和文: 藤戸啓輔.  
英文: keisuke fujito.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号 甲第6622号 
学位授与日 2006/09/30 
審査員  

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