微小圧縮試験及び微小引張試験によるMEMS用Cu-Ni-Si合金の機械的特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	微小圧縮試験及び微小引張試験によるMEMS用Cu-Ni-Si合金の機械的特性評価
英文:

著者

和文:	柳田佐理, 荒木章好, TSO-FU MARK CHANG, 陳君怡, 名越貴志, 小林郁夫, 細田秀樹, 里達雄, 曽根正人.
英文:	Sari Yanagida, Akiyoshi Araki, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Equo Kobayashi, Hideki Hosoda, Tatsuo Sato, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第63回応用物理学会春季学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年3月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第63回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: