高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価
英文:

著者

和文:	葭葉将治, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志.
英文:	Masaharu Yoshiba, Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, Takashi Nagoshi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
英文:

開催地

和文:	平戸
英文: