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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors 
著者
和文: Chang Tso-Fu Mark, 陳 君怡, Tang Hao-Chun, 葭葉 将治, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人.  
英文: Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Advances in Microelectronics Reviews 
巻, 号, ページ Vol. 1        pp. 93-106
出版年月 2017年12月1日 
出版者
和文: 
英文:IFSA Publishing 
会議名称
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開催地
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