Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors

著者

和文:	Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, Tang Hao-Chun, 葭葉将治, 名越貴志, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advances in Microelectronics Reviews

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 93-106

出版年月

2017年12月1日

出版者

和文:
英文:	IFSA Publishing

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: