医用MEMSデバイス応用に向けた 微小貴金属めっき材料の機械的特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	医用MEMSデバイス応用に向けた微小貴金属めっき材料の機械的特性評価
英文:

著者

和文:	曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 名越貴志, 町田克之, 山根大輔, 伊藤浩之, 益一哉.
英文:	Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本金属学会 2021年春季講演大会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年3月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本金属学会 2021年春季講演大会
英文:

開催地

和文:
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