Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology

著者

和文:	大西哲, 御宿希祐, TENNETI DEVI, 町田克之, CHAKRABORTY P, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
英文:	Akira Onishi, Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL)

巻, 号, ページ

出版年月

2023年3月31日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL)

開催地

和文:
英文:	Kauai, Hawaii

公式リンク

DOI