Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討
英文:	Design of serpentine spring for MEMS devices by gold multi-layer metal technology

著者

和文:	御宿希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, 町田克之, CHAKRABORTYP, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
英文:	Kisuke Miyado, Akira Onishi, Devi.Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Parthojit CHAKRABORTY, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第70回応用物理学会春季学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

16a-B410-6

出版年月

2023年3月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第70回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: