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論文・著書情報
タイトル
和文:
Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討
英文:
Design of serpentine spring for MEMS devices by gold multi-layer metal technology
著者
和文:
御宿 希祐
,
大西哲
,
TENNETIDEVI
,
町田克之
,
CHAKRABORTYP
,
曽根正人
,
三宅美博
,
伊藤浩之
.
英文:
Kisuke Miyado
,
Akira Onishi
,
Devi.Srujana Tenneti
,
Katsuyuki Machida
,
Parthojit CHAKRABORTY
,
Masato Sone
,
Yoshihiro Miyake
,
Hiroyuki Ito
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
第70回応用物理学会春季学術講演会
英文:
巻, 号, ページ
16a-B410-6
出版年月
2023年3月15日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第70回応用物理学会春季学術講演会
英文:
開催地
和文:
東京
英文:
©2007
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