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論文・著書情報


タイトル
和文:Au錘MEMS容量型加速度センサにおける減衰定数簡易解析モデルの検討 
英文:Study of simplified analytical damping constant model of Au perforated proof-mass MEMS capacitive accelerometer 
著者
和文: 御宿 希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, CHAKRABORTYP, 町田克之, 飯田慎一, 小西敏文, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.  
英文: Kisuke Miyado, Akira Onishi, Devi.Srujana Tenneti, Parthojit CHAKRABORTY, Katsuyuki Machida, Shinichi Iida, Toshifumi Konishi, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2022年8月3日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第13回集積化MEMS技術研究ワークショップ 
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開催地
和文:東京 
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