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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Design Technique of Serpentine Spring with Half Edge Span Beam Length for High Sensitivity Gold Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer 
著者
和文: 御宿 希祐, TENNETIDEVI, 大西哲, 町田克之, 栗岡智行, CHAKRABORTYP, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.  
英文: 御宿 希祐Kisuke Miyado, Devi.Srujana Tenneti, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Parthojit CHAKRABORTY, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials, Nagoya, 2023, pp325-326 G-2-02 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:2023 International Conference on Solid State Devices and Materials 
開催地
和文: 
英文:Aichi 
公式リンク https://www.ssdm.jp/index.html
 

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