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論文・著書情報


タイトル
和文:Au積層メタル技術によるMEMSデバイスの九十九折ばね定数ばらつき抑制の検討 
英文:Supression of process variation of serpentine spring constant for MEMS devices by gold multi-layer metal technology 
著者
和文: 御宿 希祐, 大西 哲, Devi Srujana Tenneti, 町田 克之, 栗岡智行, CHAKRABORTYP, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.  
英文: Kisuke Miyado, Akira Onishi, Devi.Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Parthojit CHAKRABORTY, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 20p-B201-1       
出版年月 2023年9月19日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第84回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:熊本県 
英文: 

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