Au錘１軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	Au錘１軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討
英文:	Development of Proof-mass Position Control Electrodes for Au Proof-mass Single-Axis Differential CMOS-MEMS Accelerometer

著者

和文:	御宿希祐, 大西哲 Tenneti Devi Srujana 町田克之, TENNETI DEVI, 町田克之, 栗岡智行, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
英文:	Kisuke Miyado*, Akira Onishi, Tenneti Devi Srujana, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第15回集積化MEMSシンポジウム論文集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 8A2-D-4

出版年月

2023年10月31日

出版者

和文:	応用物理学会集積化MEMS技術研究会
英文:

会議名称

和文:	第15回集積化MEMSシンポジウム
英文:

開催地

和文:	熊本県
英文: