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論文・著書情報


タイトル
和文:Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討 
英文:Development of Proof-mass Position Control Electrodes for Au Proof-mass Single-Axis Differential CMOS-MEMS Accelerometer 
著者
和文: 御宿 希祐, 大西 哲 Tenneti Devi Srujana 町田克之, TENNETI DEVI, 町田 克之, 栗岡 智行, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.  
英文: Kisuke Miyado*, Akira Onishi, Tenneti Devi Srujana, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第15回集積化MEMSシンポジウム論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 8A2-D-4       
出版年月 2023年10月31日 
出版者
和文:応用物理学会集積化MEMS技術研究会 
英文: 
会議名称
和文:第15回集積化MEMSシンポジウム 
英文: 
開催地
和文:熊本県 
英文: 

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