論文

• Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Kenta Ishi, Shuhei Watanabe, Wataru Kikuchi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatial distribution diagnosis of electron temperature and density of argon inductively coupled plasma by tomographic optical emission spectroscopic measurement and collisional-radiative model, J. Vac. Sci. Technol. A, AIP Publishing, Vol. 42, No. 2, 023003, Jan. 2024.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• H. Akatsuka, S. Watanabe, K. Doi, T. Kiyota, Y. Yamashita, W. Kikuchi, K. Ishi, Y. Ye, A. Nezu. Optical Emission Spectroscopic Measurement of Electron Temperature and Density of Oxygen ICP, The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024), Proc. DPS2024, International Symposium on Dry Process Organizing Committee, pp. 81-82, Nov. 2024.  公式リンク  
  
• K. Ishi, K. Yoneda, Y. Yamashita, A. Nezu, H. Akatsuka. Discussion on Number Densities of Excited States and Gas Temperature in Inductively Coupled Nitrogen Plasma, The 13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2023), E-Abstract book of The 13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2023), International Program Committee of AEPSE2023, p. 140, Nov. 2023.  公式リンク  
  
• K. Yoneda, Y. Yamashita, K. Doi, T. Kiyota, K. Asakawa, K. Ishi, A. Nezu, H. Akatsuka. Spatial distribution of vibrational and rotational temperatures of N2 ICP by tomographic optical emission spectroscopic measurement, 35th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV), Program-book-abstracts of ICPIG XXXV, International Scientific Committee of 35th International Conference on Phenomena in Ionized Gases, p. 285, 2023.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読なし・不明)

• Kenta Ishi, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Yuya Yamashita, Kazuma Yoneda, Shuhei Watanabe, Kazuki Shimatani, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Population Kinetics and Number Densities of Excited Species in Nitrogen Inductively Coupled Plasma, ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13, Proc. ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13, Organizing Committee of ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13, Mar. 2024.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 渡邊修平, 土居謙太, 清田哲司, 山下雄也, 菊地航行, 石健太, 根津篤, 赤塚洋. 誘導結合酸素プラズマの発光分光計測, 第41回プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 82 - 83, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• 石健太, 土居謙太, 清田哲司, 山下雄也, 米田和真, 渡邊修平, 島谷和希, 根津篤, 赤塚洋. 誘導結合窒素プラズマ中の励起状態数密度と電子温度の関係性に関する議論, 第41回プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 30-31, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• 山下航平, 菊地航行, 石健太, 榎本純, 根津篤, 赤塚洋. Ar/N2混合大気圧非平衡プラズマにおける振動温度・回転温度の発光分光計測, 第41回プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 84 - 85, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• 山下雄也, 土居謙太, 清田哲司, 菊地航行, 石健太, 渡邊修平, 根津篤, 赤塚洋. 改良分光トモグラフィアルゴリズムによるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断, 第41回 プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 64 - 65, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• 山下雄也, 土居謙太, 清田哲司, 菊地航行, 石健太, 渡邊修平, 根津篤, 赤塚洋. トモグラフィック発光分光計測とアルゴン衝突輻射モデルによるプラズマ診断において視線配置が診断結果に及ぼす影響, 2023年合同素過程研究会 「プラズマの分光診断と原子分子素過程の研究フロンティア」 「原子分子データ応用フォーラムセミナー」, 原子分子データ応用フォーラム要旨集, 原子分子データ応用フォーラム, Dec. 2023.  公式リンク  
  
• 山下 雄也, 土居 謙太, 清田 哲司, 菊地 航行, 石 健太, 渡邊 修平, 根津 篤, 赤塚 洋. トモグラフィック発光分光計測によるプラズマ診断におけるチャンバ内壁反射光が電子温度・電子密度診断に及ぼす影響, 2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会, 第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集, 公益社団法人 応用物理学会, 07-147, Sept. 2023.  公式リンク  
  
• 米田 和真, 山下 雄也, 土居 謙太, 清田 哲司, 浅川 慶一郎, 石 健太, 根津 篤, 赤塚 洋. トモグラフィック発光分光計測による窒素誘導結合プラズマの振動温度・回転温度の空間分布診断, 2023年第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集, 公益社団法人 応用物理学会, 07-008, Feb. 2023.  公式リンク  
  

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