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Publication List - YUKI ONISHI 2007 (11 / 268 entries)
Journal Paper
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Y.Hirai,
Y.Onishi,
T.Tanabe,
M.Nishihata,
T.Iwasaki,
Y.Iriye.
Time Dependent Analysis of the Resist Deformation in Thermal Nanoimprint,
Journal of Vacuum Science and Technology B,
Vol. 25,
No. 6,
pp. 2341–2345,
2007.
Official location
International Conference (Reviewed)
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Y.Hirai,
Y.Onishi,
T.Tanabe,
M.Nishihata,
T.Iwasaki,
Y.Iriye.
Time DependentAnalysis of the Resist Deformation in Thermal Nanoimprint,
51st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN),
2007.
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高木秀樹,
M.Takahashi,
R.Maeda,
Y.Onishi,
Y.Iriye,
T.Iwasaki,
Y.Hirai.
Analysis of Time Dependent Polymer Deformation Based on a Viscoelastic Model in Thermal Imprint Process,
33rd International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE),
2007.
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Y.Hirai,
Y.Onishi,
T.Tanabe,
M.Shibata,
T.Iwasaki,
Y.Iriye.
Pressure and Resist Thickness Dependency of Resist Time Evolution profiles in Nanoimprint Lithography,
33rd International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE),
2007.
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Y.Onishi,
高木秀樹,
Y.Hirai, M,
Takahashi,
R.Maeda,
T.Tanabe,
Y.Iriye.
Numerical and Experimental Analysis of Intermittent Line-and-Space Patterns in Thermal Nanoimprint,
20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC),
2007.
Domestic Conference (Not reviewed / Unknown)
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田辺聡明,
西畑雅由,
YUKI ONISHI,
川田博昭,
平井義彦.
熱ナノインプリントにおけるレジスト形状の時間 変形解析II(実験),
第67回応用物理学会学術講演会,
2007.
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YUKI ONISHI,
岩崎拓也,
入江康郎,
西畑雅由,
平井義彦.
熱ナノインプリントにおけるレジスト形状の時間変形解析I(シミュレーション),
第67回応用物理学会学術講演会,
2007.
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田辺聡明,
YUKI ONISHI,
柴田真由子,
川田博昭,
平井義彦.
熱ナノインプリントにおけるレジスト形状の時 間変形解析(圧力, 初期膜厚依存性),
第68回応用物理学会学術講演会,
2007.
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YUKI ONISHI,
高木秀樹,
高橋正春,
前田龍太郎,
入江康郎,
岩崎拓也.
粘弾性体材料モデルを用いた熱ナノ インプリントの有限要素解析手法,
第24回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,
2007.
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高木秀樹,
高橋正春,
前田龍太郎,
YUKI ONISHI,
入江康郎,
岩崎拓也,
平井義彦.
ナノインプリント解析シス テム用材料データベースの開発,
2007年度精密工学会秋季大会学術講演会,
2007.
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YUKI ONISHI,
平井義彦,
高木秀樹,
高橋正春,
田辺聡明,
前田龍太郎,
入江康郎.
熱ナノインプリントにおけ るポリマーの変形解析,
第20回計算力学講演会,
2007.
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