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圷晴子 2021年 研究業績一覧 (5件 / 7件)
論文
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Haruko Akutsu,
Reiko Saito,
Jun Asakawa,
Kei Kiyokawa,
Masato Morita,
Tetsuo Sakamoto,
Masaaki Fujii.
Distribution of trace impurities in micro volumes and analysis of concentration using laser sputtered neutral mass spectrometry,
Journal of Vacuum Science & Technology B,
Vol. 39,
Issue 6,
Dec. 2021.
学位論文
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半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発,
論文要旨,
博士(理学),
東京工業大学,
2021/09/24,
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半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発,
要約,
博士(理学),
東京工業大学,
2021/09/24,
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半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発,
審査の要旨,
博士(理学),
東京工業大学,
2021/09/24,
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半導体デバイス中不純物分析に対する 新規レーザーイオン化分析の開発,
本文,
博士(理学),
東京工業大学,
2021/09/24,
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