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内山晃宏 2020年 研究業績一覧 (3件 / 13件)
国内会議発表 (査読なし・不明)
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内山晃宏,
市川 崇志,
古賀 達也,
町田 克之,
益 一哉,
石原昇,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
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市川 崇志,
内山晃宏,
古賀 達也,
町田 克之,
石原昇,
益 一哉,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
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内山晃宏,
市川 崇志,
古賀達也,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ,
第81回 応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2020.
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