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内山晃宏 2021年 研究業績一覧 (8件 / 13件)
国際会議発表 (査読有り)
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Akihiro Uchiyama,
Takasi Ichikawa,
Kohei Shibata,
Shinichi Iida,
Sangyeop Lee,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Hiroyuki Ito.
A MEMS accelerometer with a single axis two proof masses for a wide detection range,
Transducers,
June 2021.
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Takasi Ichikawa,
Akihiro Uchiyama,
Kohei Shibata,
Shinichi Iida,
Sangyeop Lee,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Hiroyuki Ito.
A 3-D capacitive-detection electrode for a single gold proof-mass three-axis MEMS accelerometer,
Inertial,
Mar. 2021.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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柴田滉平,
内山晃宏,
大西哲,
李尚曄,
町田克之,
石原昇,
益一哉,
伊藤浩之.
Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討,
第13回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2021.
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内山晃宏,
柴田滉平,
大西哲,
市川崇志,
飯田慎一,
李尚曄,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサの検討,
第13回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2021.
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大西哲,
内山晃宏,
柴田滉平,
市川崇志,
李尚曄,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
3次元容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第13回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2021.
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大西哲,
内山晃宏,
柴田滉平,
市川崇志,
李尚曄,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第82回 応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2021.
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柴田滉平,
内山晃宏,
大西哲,
李尚曄,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討,
令和3年度E部門総合研究会,
July 2021.
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内山晃宏,
市川崇志,
柴田滉平,
飯田慎一,
李尚曄,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
ワイドレンジ検出可能なAu錘1軸MEMS加速度センサ の検討,
応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2021.
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