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山田虎人 研究業績一覧 (11件)
論文
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Masako Okumura,
Tomoyuki Kurioka,
Torauto Yamada,
Tatsuhiko Mori,
Katsuyuki Machida,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Single-axis gold micro-electro-mechanical-systems capacitive accelerometer with circular proof-mass for suppressing warpage,
Japanese Journal of Applied Physics,
Feb. 2026.
公式リンク
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Devi Srujana Tenneti,
Chihaya Mukaide,
Kisuke Miyado,
Torauto Yamada,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Design and Evaluation of a Dual Detection Range Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Proof-Mass Structure for Suppressed Warpage,
Japanese Journal of Applied Physics,
Vol. 64,
p. 04SP20,
Apr. 2025.
公式リンク
国際会議発表 (査読有り)
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Masako Okumura,
Tomoyuki Kurioka,
Torauto Yamada,
Tatsuhiko Mori,
Tso-Fu Mark Chang,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida.
Warpage Suppression and Device Characteristics of Gold Single-Axis Circular Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer Authors Information,
International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2025),
Nov. 2025.
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Kisuke Miyado,
Torauto Yamada,
Devi Srujana Tenneti,
Chihaya Mukaide,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Effect of Perforated Proof-Mass Hole Size on Device Characteristics of Gold Single-Axis MEMS Accelerometer for Micro-g Level Sensing,
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
Sept. 2024.
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Devi Srujana Tenneti,
Kisuke Miyado,
Chihaya Mukaide,
Torauto Yamada,
Katsuyuki Machida,
Tomoyuki Kurioka,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Suppression of Warpage in Perforated Proof-Mass of Gold Single-Axis MEMS Accelerometers for Micro-g Level Sensing,
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier),
Sept. 2024.
国内会議発表 (査読有り)
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山田 虎人,
向出 千隼,
栗岡 智行,
町田 克之,
Chen Chun-Yi,
Chang Tso-Fu Mark,
曽根 正人,
三宅 美博,
伊藤 浩之.
長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2026.
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高畑 寿志,
栗岡 智行,
山田 虎人,
向出 千隼,
町田 克之,
Chen Chun-Yi,
Chang Tso-Fu Mark,
三宅 美博,
伊藤 浩之,
曽根 正人.
Ti/Au積層九十九折ばねのばね定数に対するTi/Au膜厚の影響評価,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2026.
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奥村 雅子,
栗岡 智行,
山田 虎人,
森 達彦,
向出 千隼,
Chen Chun-Yi,
Chang Tso-Fu Mark,
三宅 美博,
伊藤 浩之,
町田 克之,
曽根 正人.
円形金錘1軸静電容量型MEMS加速度センサの構造とデバイス特性評価,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2026.
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向出 千隼,
山田 虎人,
栗岡 智行,
町田 克之,
Chun-Yi Chen,
Chang Tso-Fu Mark,
三宅 美博,
曽根 正人,
伊藤 浩之.
ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサにおける検出範囲の検討,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
第73回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2026.
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高畑 寿志,
栗岡 智行,
山田 虎人,
町田 克之,
Tso-Fu Mark Chang,
三宅 美博,
伊藤 浩之,
曽根 正人.
Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討,
第17回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2025.
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奥村 雅子,
栗岡 智行,
森 達彦,
山田 虎人,
向出 隼人,
Chun Yi-Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
静電容量型MEMS加速度センサにおける金錘の形状による反り抑制の検討,
第17回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2025.
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