論文

• Syunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Dependence of Structural Design on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers  , Micro and Nano Engineering, Vol. 29, p. 100249, Mar. 2024.  公式リンク  
  
• Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Clarification of Geometric Effects on Long-Term Structural Stability of Ti/Au Multi- Layered Micro-Cantilevers, Micro and Nano Engineering, Vol. 23, p. 100244, Mar. 2024.  公式リンク  
  
• Taro Omura, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki ; Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Warpage Study of the Electrodeposited-Au Micro-Components Having the Ti/Au Multi-layered Structures toward MEMS Applications, Journal of The Electrochemical Society, Vol. 171, p. 032501, Feb. 2024.  公式リンク  
  
• Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Serpentine Spring Design Technique for High Sensitivity MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated by Gold Multi-layer Metal Technology, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 63, No. 4, p. 04SP23, Feb. 2024.  公式リンク  
  
• Akira Onishi, Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Gold Single-Axis Differential Capacitive MEMS Accelerometer With Proof-Mass Position Control Electrode Fabricated by Post-CMOS Technology, 2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), Mar. 2023.  公式リンク  
  
• Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Shin-ichi Iida, Toshifumi Konishi, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure, IEEE Sensors Journal, Vol. 22, Issue 15, June 2022.  公式リンク  
  
• Akira Onishi, Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Katsuyuki Machida, Taiki Ogata, Noboru Ishihara, Hirotaka Uchitomi, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Suppressed Drift and Low-Noise Sensor Module with a Single-Axis Gold Proof-Mass MEMS Accelerometer for Micro Muscle Sound Measurement, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 61, p. SD1028, Mar. 2022.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Comprehensive Evaluation of Geometric Effects on Long-Term Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers toward Gold-MEMS Capacitive Accelerometer, 49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023), 49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023), Sept. 2023.
• Syunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Dependence of Structural Design on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers, MNE2023, 49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023), Sept. 2023.
• 御宿 希祐Kisuke Miyado, Devi.Srujana Tenneti, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Parthojit CHAKRABORTY, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Design Technique of Serpentine Spring with Half Edge Span Beam Length for High Sensitivity Gold Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer, 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials, Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials, Nagoya, 2023, pp325-326 G-2-02, Sept. 2023.  公式リンク  
  
• Taro Omura, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Warpage Characteristics of Gold Proof Mass in MEMS Capacitive Accelerometer, 48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES), Sept. 2022.

国内会議発表 (査読有り)

• 御宿 希祐, 大西 哲 Tenneti Devi Srujana 町田克之, TENNETI DEVI, 町田 克之, 栗岡 智行, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au錘１軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討, 第15回集積化MEMSシンポジウム, 第15回集積化MEMSシンポジウム論文集, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会, Vol. 8A2-D-4, Oct. 2023.
• 御宿 希祐, 大西 哲, Devi Srujana Tenneti, 町田 克之, 栗岡智行, CHAKRABORTYP, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au積層メタル技術によるMEMSデバイスの九十九折ばね定数ばらつき抑制の検討, 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 第84回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集, Vol. 20p-B201-1, Sept. 2023.
• 渡邉 春海, Chen Chun-Yi, 栗岡 智行, Chang Tso-Fu Mark, 大西 哲, Parthojit Chakraborty, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. Ti/Au 多層カンチレバーの実効ヤング率における構造因子の研究, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, p. 16a-B410-4, Mar. 2023.
• 御宿 希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, 町田克之, CHAKRABORTYP, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 16a-B410-6, Mar. 2023.
• 宮井 良介, 栗岡 智行, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 大西 哲, Parthojit Chakraborty, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 第70回応用物理学会春季学術講演会, p. 16a-B410-5, Mar. 2023.
• 御宿 希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, CHAKRABORTYP, 町田克之, 飯田慎一, 小西敏文, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. エッチホールを有するAu錘構造のMEMS加速度センサの減衰定数簡易解析モデルの検討, 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 22a-A406-2, Sept. 2022.
• 御宿 希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, CHAKRABORTYP, 町田克之, 飯田慎一, 小西敏文, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之. Au錘MEMS容量型加速度センサにおける減衰定数簡易解析モデルの検討, 第13回集積化MEMS技術研究ワークショップ, Aug. 2022.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 柴田滉平, 内山晃宏, 大西哲, 李尚曄, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 伊藤浩之. Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 内山晃宏, 柴田滉平, 大西哲, 市川崇志, 飯田慎一, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 3次元容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第13回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2021.
• 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 3D容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討, 第82回 応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2021.
• 柴田滉平, 内山晃宏, 大西哲, 李尚曄, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之. 1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討, 令和3年度E部門総合研究会, July 2021.

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