|
小西敏文 2022年 研究業績一覧 (3件 / 253件)
論文
-
Kohei Shibata,
Akihiro Uchiyama,
Akira Onishi,
Katsuyuki Machida,
Parthojit Chakraborty,
Shin-ichi Iida,
Toshifumi Konishi,
Masato Sone,
Yoshihiro Miyake,
Hiroyuki Ito.
Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure,
IEEE Sensors Journal,
Vol. 22,
Issue 15,
June 2022.
公式リンク
国内会議発表 (査読有り)
-
御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
CHAKRABORTYP,
町田克之,
飯田慎一,
小西敏文,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
エッチホールを有するAu錘構造のMEMS加速度センサの減衰定数簡易解析モデルの検討,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
第83回応用物理学会秋季学術講演会,
22a-A406-2,
Sept. 2022.
-
御宿 希祐,
大西哲,
TENNETIDEVI,
CHAKRABORTYP,
町田克之,
飯田慎一,
小西敏文,
曽根正人,
三宅美博,
伊藤浩之.
Au錘MEMS容量型加速度センサにおける減衰定数簡易解析モデルの検討,
第13回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
Aug. 2022.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|