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小西敏文 2017年 研究業績一覧 (47件 / 253件)
論文
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Koichiro Tachibana,
Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
LONG-TERM VIBRATION CHARACTERISTICS OF MEMS INERTIAL SENSORS BY MULTI-LAYER METAL TECHNOLOGY,
Proceedings of the 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS),
IEEE Conference Publications,
pp. 2187 - 2190,
Aug. 2017.
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Hideaki Nakajima,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices,
Proceedings of the 12th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,
IEEE Conference Publications,
pp. 264 - 267,
Aug. 2017.
国際会議発表 (査読有り)
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Koichiro Tachibana,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Long-Term Vibration Testing of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology,
2017 MRS Fall Meeting,
Nov. 2017.
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Hirofumi Niijima,
Motohiro Takayasu,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes,
The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference,
Nov. 2017.
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Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Teruaki Safu,
Chun Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Shinichi Iida.
Temperature Dependence on Package Sealing Ambient of MEMS Sensor Fabricated by Gold Electroplating,
The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference,
Nov. 2017.
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Sub-1mG Inertial Sensors by Multi-layer Metal Technology,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
F5-05,
Nov. 2017.
公式リンク
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Hideaki Nakajima,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Young’s Modulus Evaluation of Ti/Au Micro-Cantilevers by Au Electrodeposition,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
Nov. 2017.
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Keisuke Asano,
Haochun Tang,
Chun-Yi Chen,
Takashi Nagoshi,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Mechanical Strengthening of Gold Micro-Cantilever by Control of Electroplating Conditions,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
Nov. 2017.
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Koichiro Tachibana,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Long-Term Vibration Test and Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever as MEMS Components,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
Nov. 2017.
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Takuma Suzuki,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Temperature Structure Stability of Multi-Ti/Au-Layered Micro-Cantilever,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
Nov. 2017.
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Haochun Tang,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Strategies of Mechanical Strengthening in Electroplated Au Materials,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
Nov. 2017.
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Masato Sone,
Haochun Tang,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Takashi Nagoshi,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometers,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
Nov. 2017.
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Tso-Fu Mark Chang,
Haochun Tang,
Chun-Yi Chen,
Takashi Nagoshi,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Micro-Mechanical Property Enhancement of Metals Electroplated in Electrolyte Containing Supercritical CO2,
IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017,
Nov. 2017.
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Takuma Suzuki,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology,
2017 MRS Fall Meeting,
Nov. 2017.
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Ken Hashigata,
Hao-Chun Tang,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Defect-Free and Uniform Electroplating of Gold on Titanium Surface for Design of MEMS Components,
TACT2017 International Thin Films Conference,
Oct. 2017.
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Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Toshifumi Konishi,
Daisuke Yamane,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Structure Stability Enhancement of Gold Micro-Cantilever with a Constrained at Top and Bottom of the Fixed-End,
43rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2017),
MNE2017,
Sept. 2017.
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Motohiro Takayasu,
Shiro Dosho,
Hiroyuki Ito,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Noboru Ishihara,
Kazuya Masu.
A capacitive sensor circuit based on relaxation oscillator for sub-1mG MEMS inertial sensors,
2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017),
Sept. 2017.
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Shouta Otobe,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hiroyuki Ito,
Shiro Dosho,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes,
2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017),
Sept. 2017.
公式リンク
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Ippei Tsuji,
Motohiro Takayasu,
Hiroyuki Ito,
Daisuke Yamane,
Shiro Dosho,
Toshifumi Konishi,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology,
2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017),
Sept. 2017.
公式リンク
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Koichiro Tachibana,
Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology,
The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017),
pp. 2187-2190,
June 2017.
公式リンク
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Hideaki Nakajima,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices,
IEEE-NEMS 2017,
IEEE-NEMS 2017,
Apr. 2017.
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Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Hiroshi Toshiyoshi,
Masato Sone,
Katsuyuki Machida,
Yoshihiro Miyake,
Kazuya Masu.
MEMS inertial sensors for biomedical applications,
12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017),
Apr. 2017.
公式リンク
国内会議発表 (査読有り)
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辻 一平,
高安 基大,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
道正 志郎,
小西 敏文,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討,
第9回集積化MEMSシンポジウム,
01pm1-A-6,
Oct. 2017.
公式リンク
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高安 基大,
道正 志郎,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
小西 敏文,
町田 克之,
石原 昇,
益 一哉.
MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路,
第9回 集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2017.
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乙部 翔太,
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討,
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
Oct. 2017.
公式リンク
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古賀 達也,
辻 一平,
高安 基大,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
道正 志郎,
小西 敏文,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討,
第9回 集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2017.
公式リンク
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折原 恒祐,
高安 基大,
道正 志郎,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
小西 敏文,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討,
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
31am3-PLN-2,
Oct. 2017.
公式リンク
-
新島 宏文,
高安 基大,
山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
伊藤 浩之,
年吉 洋,
町田 克之,
益 一哉.
静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2),
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
01am2-PLN-8,
Oct. 2017.
公式リンク
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小西 敏文,
山根 大輔,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討,
第9回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2017.
公式リンク
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山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
橘 航一朗,
寺西 美波,
陳 君怡,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根 正人,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価,
第9回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2017.
公式リンク
国内会議発表 (査読なし・不明)
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山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
橘 航一朗,
寺西 美波,
陳 君怡,
Tso-Fu Mark Chang,
曽根 正人,
町田 克之,
益 一哉.
金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討,
第78回 応用物理学会 秋季学術講演会,
Sept. 2017.
公式リンク
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高安 基大,
道正 志郎,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
小西 敏文,
町田 克之,
石原 昇,
益 一哉.
MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路,
第78回 応用物理学会 秋季学術講演会,
Sept. 2017.
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辻 一平,
高安 基大,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
道正 志郎,
小西 敏文,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討,
第78回 応用物理学会 秋季学術講演会,
Sept. 2017.
公式リンク
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古賀 達也,
辻 一平,
高安 基大,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
道正 志郎,
小西 敏文,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討,
第78回 応用物理学会 秋季学術講演会,
Sept. 2017.
公式リンク
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辻 一平,
高安 基大,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
小西 敏文,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術を用いた高感度MEMS傾斜計の検討,
第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ,
July 2017.
公式リンク
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高安 基大,
道正 志郎,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
小西 敏文,
町田 克之,
石原 昇,
益 一哉.
MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価,
第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ,
July 2017.
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曽根 正人,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-yi Chen,
山根 大輔,
小西 敏文,
町田 克之,
益 一哉.
非侵襲性高感度医用デバイスのための貴金属材料の作製とその材料評価,
第63回 国立大学共同利用・共同研究拠点 知の拠点セミナー,
第63回 国立大学共同利用・共同研究拠点 知の拠点セミナー,
June 2017.
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高安 基大,
權田 惇晟,
小西 敏文,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
人体振動測定のためのMEMS慣性センサを用いたモジュールの検討,
LSIとシステムのワークショップ2017,
May 2017.
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鈴木 拓真,
Chang Tso-Fu Mark,
Chen Chun-Yi,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-11,
Mar. 2017.
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佐布 晃昭,
小西 敏文,
山根 大輔,
年吉 洋,
曽根 正人,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-17,
Mar. 2017.
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飯塚知希,
山根 大輔,
小西 敏文,
伊藤 浩之,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
振動型エネルギーハーベスティングデバイスのためのSPICE系統合設計の検討,
第64回応用物理学会春季学術講演会,
p. 14p-P3-13,
Mar. 2017.
公式リンク
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高安 基大,
權田 惇晟,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
小西 敏文,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討,
第64回 応用物理学会 春季学術講演会,
Mar. 2017.
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權田 惇晟,
高安 基大,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
小西 敏文,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
移動体制御による慣性センサ評価系の構築,
第64回応用物理学会春季学術講演会,
p. 14p-P3-19,
Mar. 2017.
公式リンク
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小西敏文,
山根 大輔,
佐布 晃昭,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-16,
Mar. 2017.
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中島 英亮,
Chang Tso-Fu Mark,
陳 君怡,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(2),
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-15,
Mar. 2017.
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山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
中島 英亮,
寺西 美波,
陳 君怡,
Chang Tso-Fu Mark,
曽根 正人,
年吉 洋,
益 一哉,
町田 克之.
積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(1),
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-14,
Mar. 2017.
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橘 航一朗,
Chang Tso-Fu Mark,
Chen Chun-Yi,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討,
応用物理学会 2017年春季講演会,
応用物理学会 2017年春季講演会,
p. 14p-P3-12,
Mar. 2017.
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