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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of Perforated Proof-Mass Hole Size on Device Characteristics of Gold Single-Axis MEMS Accelerometer for Micro-g Level Sensing 
著者
和文: 御宿 希祐, 山田 虎人, TENNETI DEVI, 向出 千隼, 町田 克之, 栗岡 智行, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之.  
英文: Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier) 
巻, 号, ページ        
出版年月 2024年9月16日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier) 
開催地
和文: 
英文: 

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