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タイトル
和文:Design and Evaluation of a Dual Detection Range Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Proof-Mass Structure for Suppressed Warpage 
英文:Design and Evaluation of a Dual Detection Range Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Proof-Mass Structure for Suppressed Warpage 
著者
和文: Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
英文: Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:Japanese Journal of Applied Physics 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ        
出版年月 2025年4月1日 
出版者
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会議名称
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開催地
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