Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討
英文:

著者

和文:	高畑寿志, 栗岡智行, 山田虎人, 町田克之, Tso-Fu Mark Chang, 三宅美博, 伊藤浩之, 曽根正人.
英文:	Hisashi Takahata, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年11月

出版者

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会議名称

和文:	第17回集積化MEMSシンポジウム
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開催地

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