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論文・著書情報


タイトル
和文:高感度静電容量型 MEMS 加速度センサのための九十九折ばね解析モデルの提案 
英文: 
著者
和文: 高畑 寿志, 栗岡 智行, 彦坂 元, 山田 虎人, 向出 千隼, 町田 克之, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 曽根 正人.  
英文: Hisashi Takahata, Tomoyuki Kurioka, Gen Hikosaka, Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Katsuyuki Machida, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito, Masato Sone.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2026年7月 
出版者
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会議名称
和文:第17 回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ 
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開催地
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