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増田政史 研究業績一覧 (7件)
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論文
国際会議発表 (査読なし・不明)
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Tatsuya Sodekoda,
Hajime Kuwabara,
Masashi Masuda,
Shijia Liu,
Kouki Kanou,
Kenta Kawaguchi,
Kazuhiko Horioka.
Repetitive operation of counter-facing plasma focus device: toward a practical light source for EUV lithography,
SPIE,
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography V,
Vol. 9048,
pp. 904824-1-8,
Apr. 2014.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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K. Kawaguchi,
T.Sodekoda,
H. Kuwabara,
M. Masuda,
S. Liu,
K. Kanou,
M. Nakajima,
T. Kawamura,
K. Horioka.
Plasma Dynamics in Counter-Facing Plasma-Focus Type Extreme-Ultraviolet Light Source,
Frontiers in Applied Pulse Power Technology,
NIFS-PROC-105 : Proc. National Institute for Fusion Science,
Vol. 105,
pp. 44 48,
Aug. 2017.
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劉 世家,
増田政史,
狩野弘毅,
川口健太,
袖子田竜也,
桑原 一,
長谷川純,
河村 徹,
中島充夫,
堀岡一彦.
放電プラズマ型極端紫外光発生装置の電極現象に関する研究,
パルスパワー研究会,
電気学会研究会資料,
PPT-13,
pp. 5-8,
Aug. 2013.
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増田政史,
桑原 一,
中島充夫,
河村 徹,
堀岡一彦.
対向プラズマフォーカス型リチウムプラズマ光源の発光スペクトル,
電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会,
パルスパワー研究会資料集,
Vol. PPT-12-112,
Dec. 2012.
特許など
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堀岡一彦,
増田政史,
桑原 一.
プラズマ光源.
特許.
登録.
国立大学法人東京工業大学, 株式会社IHI.
2013/06/03.
特願2013-116730.
2014/12/15.
特開2014-235887.
特許第6126466号.
2017/04/14
2017.
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堀岡一彦,
増田政史,
桑原 一.
プラズマ光源.
特許.
登録.
国立大学法人東京工業大学, 株式会社IHI.
2013/06/03.
特願2013-116727.
2014/12/15.
特開2014-235886.
特許第6111145号.
2017/03/17
2017.
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