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石崎超矢 研究業績一覧 (3件)
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国際会議発表 (査読なし・不明)
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Lin,
A. Tanaka,
N. Ishizaki,
A. Nishiyama,
N. Wakiya,
J. S. Cross,
T. Shiota,
O. Sakurai,
K. Shinozaki.
Optimization of Deposition Conditions of a-Al2O3 Thin Films by Low Pressure MOCVD Using Al(CH3)3,
The 8th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-8),
Abstract book of The 8th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-8),
26pKP27,
June 2014.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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田中 敦,
宇津木貴太,
石崎超矢,
西山昭雄,
塩田 忠,
櫻井 修,
篠崎和夫,
脇谷尚樹.
Al(CH3)3を原料とするMOCVD法によるAl2O3薄膜の製膜過程,
日本セラミックス協会第29回関東支部研究発表会,
日本セラミックス協会第29回関東支部研究発表会予稿集,
2A04,
Sept. 2013.
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石崎超矢,
田中 敦,
西山昭雄,
塩田 忠,
櫻井 修,
篠崎和夫,
脇谷尚樹.
MOCVD法によるSi基板上へのアルミナ薄膜の形成,
日本セラミックス協会第32回エレクトロセラミックス研究討論会,
日本セラミックス協会第32回エレクトロセラミックス研究討論会講演予稿集,
2P10,
p. 50,
Oct. 2012.
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