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日野雅文 研究業績一覧 (5件)
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国際会議発表 (査読有り)
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M. Hino,
K. Nagata,
T. Yoshida,
D. Kosemura,
K. Kakushima,
P. Ahmet,
K. Tsutsui,
N. Sugii,
A. Ogura,
T. Hattori,
H. Iwai.
Study on Stress Memorization by Argon Implantation and Annealing,
214th ECS Meeting (PRiME 2008),
Oct. 2008.
国内会議発表 (査読有り)
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日野雅文,
吉田哲也,
小瀬村 大亮,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
杉井信之,
小椋 厚志,
服部健雄,
岩井洋.
SiN応力膜によるSi基板への歪記憶の検討,
春季第55回応用物理学会学術講演会,
春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集,
応用物理学会,
No. 2,
pp. 883,
Mar. 2008.
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日野雅文,
角嶋 邦之,
パールハット アヘメト,
筒井 一生,
杉井 信之,
服部 健雄,
岩井 洋.
HfO2/ La2O3のゲート絶縁膜を用いたSi-MOSFETの電気特性,
秋季第68回応用物理学会学術講演会,
Nov. 2007.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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中山寛人,
日野雅文,
永田晃基,
小瀬村大亮,
角嶋邦之,
パールハットアヘメト,
筒井一生,
杉井信之,
小椋厚志,
服部健雄,
岩井洋.
As注入とSiN応力膜によるpoly-Siへの歪記憶の検討,
第56回応用物理学関係連合講演会,
第56回応用物理学関係連合講演会予稿集,
応用物理学会,
No. 2,
pp. 869,
Mar. 2009.
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中山寛人,
日野雅文,
服部健雄,
杉井信之,
筒井一生,
パールハットアヘメト,
角嶋邦之,
小椋厚志,
永田 晃基,
吉田 哲也,
小瀬村大亮,
岩井洋.
Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討,
秋季第69回応用物理学会学術講演会,
応用物理学会,
応用物理学会,
No. 2,
pp. 743,
Sept. 2008.
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