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Publication List - Yuki Hirata 2013 (8 / 250 entries)
Journal Paper
International Conference (Not reviewed / Unknown)
Domestic Conference (Not reviewed / Unknown)
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Yuki Hirata,
大西弘益,
Takahisa Kato,
Junho Choi.
バイポーラPBII 法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング―膜の構造および機械的特性評価,
第54 回真空に関する連合講演会,
第54 回真空に関する連合講演会 予稿集,
Nov. 2013.
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Yuki Hirata,
朴元淳,
下園隼人,
Junho Choi,
Takahisa Kato.
バイポーラPBII 法によるマイクロトレンチへのDLC コーティング,
第5 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,
第5 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 講演論文集,
Nov. 2013.
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Yuki Hirata,
朴元淳,
Takahisa Kato,
Junho Choi.
バイポーラPBII 法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング―プラズマ挙動解析,
第54 回真空に関する連合講演会,
第54 回真空に関する連合講演会 予稿集,
Nov. 2013.
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朴元淳,
Yuki Hirata,
Junho Choi,
Takahisa Kato.
プラズマシミュレーションによるマイクロトレンチ形状物への三次元DLC コーティング解析,
トライボロジー会議2013春 東京,
トライボロジー会議2013春 東京 講演論文集,
May 2013.
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Yuki Hirata,
朴元淳,
Junho Choi,
Takahisa Kato.
トレンチ形状物への三次元DLC コーティングおよびプラズマ挙動解析,
トライボロジー会議2013春 東京,
トライボロジー会議2013春 東京 講演論文集,
May 2013.
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Junho Choi,
時岡秀行,
朴元淳,
Yuki Hirata,
Takahisa Kato.
バイポーラPBII 法によるマイクロ・ナノスケールトレンチパターンへの三次元DLC コーティング,
トライボロジー会議2013春 東京,
トライボロジー会議2013春 東京 講演論文集,
May 2013.
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