国際会議発表 (査読有り)

• Takumi Akiyama, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Impurities Analysis of the Gold Components in MEMS Accelerometer by TDS, 48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES), Sept. 2022.

国内会議発表 (査読有り)

• 秋⼭ 拓海, CHIENYu-An, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Chang, 伊藤浩之, 町⽥克之, 三宅美博, 曽根正⼈. MEMSデバイスへの応⽤に向けた⾦ニッケル合⾦の微⼩機械的特性 の評価, 2022年応⽤物理学会春季講演会, Mar. 2022.

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