|
寺西美波 2016年 研究業績一覧 (5件 / 21件)
論文
-
Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers,
Microelectronics Engineering,
Vol. 153,
pp. 90-93,
Apr. 2016.
国際会議発表 (査読有り)
-
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Hideaki Nakajima,
Minami Teranishi,
Chun-Yi Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Masato Sone,
Hiroshi Toshiyoshi,
Kazuya Masu.
Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices,
29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016),
pp. 10D-5-1,
Nov. 2016.
公式リンク
-
Minami Teranishi,
Tso-Fu Mark Chang,
Chun-Yi Chen,
Toshifumi Konishi,
Katsuyuki Machida,
Hiroshi Toshiyoshi,
Daisuke Yamane,
Kazuya Masu,
Masato Sone.
Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating,
ISE - Topical Meeting,
ISE - Topical Meeting,
Apr. 2016.
国内会議発表 (査読有り)
-
寺西美波,
Chang Tso-Fu Mark,
Chen Chun-Yi,
山根大輔,
益一哉,
曽根正人,
小西敏文,
町田克之,
年吉洋.
電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価,
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,
Oct. 2016.
-
寺西 美波,
TSO-FU MARK CHANG,
陳 君怡,
小西 敏文,
町田 克之,
年吉 洋,
山根 大輔,
益 一哉,
曽根 正人.
電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
第63回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2016.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|