論文

• Keting Chen, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani, Sachiko Matsushita. Simulation-based study on a dual-circuit design for achieving continuous power generation in Ge-sensitized thermal cells under isothermal conditions, Energy Conversion and Management, Elsevier, Volume 331, Page 119678, May 2025.  公式リンク  
  
• Mina Sato, Mie Tohnishi, Miho Fujimoto, Akihiro Matsutani. Sub-micrometer-sized Patterning of Photoresist by Electron Beam Projection Lithography Using Tabletop Scanning Electron Microscopy System and Stencil Masks, Sensors and Materials, Vol. 37, No. 3, pp. 977-985, Mar. 2025.
• Mie Tohnishi, Sachiko Matsushita, Akihiro Matsutani. Microfabrication of Black Ge by SF6/O2- and C4F8-based Deep Reactive Ion Etching, Sensors and Materials, Vol. 37, No. 3, pp. 943-953, Mar. 2025.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 佐藤美那, 遠西美重, 松谷晃宏. N+照射により形成したアモルファス化SiエッチングマスクのKOHエッチングに対するエッチング速度のイオンエネルギー依存性, 第86回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2025.
• 遠西 美重, 佐藤 美那, 松谷 晃宏. SmCo磁石で高密度化されたRIEチャンバー内のプラズマ分布の観察, 第86回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2025.
• 陳科廷, 遠西美重, 松谷晃宏, 松下祥子. 櫛形電極Ge増感型熱利用電池における放電挙動の電解質層厚み依存, 2024年第72回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2025.
• 佐藤美那, 遠西美重, 藤本美穂, 松谷晃宏. 卓上SEM とステンシルマスクを用いたEPL 法の開発, 第72回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2025.
• 小澤 亮太, 水書 稔治,, 津久井遼, 山本広大, 藤本美穂, 佐藤美那, 遠西美重, 松谷晃宏. 複屈折結 晶を利用した位相変位干渉計素子の試作と光学的特性, 2024 年衝撃波シンポジウム, 1B4-2, Mar. 2025.
• 飯嶋 航大, 谷口 公太, 大槻秀夫, 神野 莉衣奈, 遠西美重, 松谷晃宏, 太田 泰友, 岩本 敏. α-Ga2O3 導波路作製に向けたPECVD 成膜 a-C:H 膜のAr プラズマエッチング耐性評価, 2025 年第72 回 応用物理学会春季学術講演会, 16a-K403-2, Mar. 2025.
• 遠西美重. 異種材料接合の表面処理における固体ソースH₂Oプラズマ分布均一化のための改良, 総合技術研究会2025筑波大学, Mar. 2025.

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