論文

• Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani. Surface Treatment of Polydimethylsiloxane and Glass Using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Microfluidic Devices, Sensors and Materials, MYU.K.K, Vol. 33, No. 2, pp. 569-574, Feb. 2021.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 佐藤美那, 遠西美重, 松谷晃宏. エッチングマスクとしてAr+イオンビームを照射した 微細マスクパターンを用いたKOH エッチングによるSi の微細加工, 第82回 応用物理学会 秋季学術講演会, Sept. 2021.
• 遠西 美重, 佐藤美那, 松下祥子, 松谷晃宏. 固体ソースH₂O プラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu電極の折り曲げ耐久性, 第82回応用物理学会秋季学術講演会, Sept. 2021.
• 遠西 美重, 松谷 晃宏. 固体ソースH₂O プラズマ処理したポジ型フォトレジストの表面粗さの観察, 第68回応用物理学会春季学術講演会, 16a-P04-6, Mar. 2021.

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