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遠西美重 2022年 研究業績一覧 (4件 / 24件)
論文
国内会議発表 (査読なし・不明)
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松谷晃宏,
遠西美重,
藤本美穂,
松下祥子.
ポジ型電子線レジストSML1000をマスクとして用いたSF6-RIEによるGeのドライエッチング,
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会,
20a-P01-5,
Sept. 2022.
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遠西 美重,
佐藤美那,
松下祥子,
松谷晃宏.
ポリイミドシート上へスパッタ成膜したCr/Ge電極の固体ソースH₂Oプラズマを用いた前処理による低抵抗化,
第69回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2022.
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佐藤美那,
遠西美重,
松谷晃宏.
Ar+ビーム照射によるSiアモルファスマスクを利用したKOHエッチングによる単一細胞分離プレートとマイクロ流路の作製,
第69回 応用物理学会 春季学術講演会,
Mar. 2022.
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