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遠西美重 2023年 研究業績一覧 (7件 / 24件)
論文
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Mie Tohnishi,
Mina Sato,
Akihiro Matsutani,
Takashi Ubukata,
Sachiko Matsushita.
Surface Treatment of Polyimide using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Ge Electrode,
Sensors and Materials,
Vol. 35,
No. 3,
pp. 1023-1033,
Mar. 2023.
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Ryo Tsukui,
Masaru Kino,
Kodai Yamamoto,
Mina Sato,
Mie Tohnishi,
Akihiro Matsutani,
Mikio Kurita.
Laboratory demonstration of the birefrigent point-diffraction interferometer wavefront sensor,
Optics Continuum,
Vol. 2,
pp. 382-396,
Jan. 2023.
国際会議発表 (査読有り)
国内会議発表 (査読なし・不明)
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松谷晃宏,
遠西美重.
デジタルカメラと回折格子によるSi のDeep-RIE プラズマの発光分光測定と EDX による高アスペクト比(HAR)エッチング側壁の分析の比較,
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会,
20p-P07-16,
Sept. 2023.
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遠西美重,
松谷晃宏,
松下祥子.
Deep-RIE により作製したブラックGe 微細構造側壁のEDX 分析,
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会,
20p-P07-15,
Sept. 2023.
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佐藤 美那,
遠西美重,
松谷晃宏.
Ar+ビーム照射により作製したKOHエッチング用SiマスクのXPS解析,
2023年第70回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2023.
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遠西 美重,
松谷晃宏,
生方 俊,
松下祥子.
固体ソースH₂Oプラズマ処理したポリイミド樹脂の表面のXPS分析,
2023年第70回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2023.
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