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志村礼司郎 2020年 研究業績一覧 (4件 / 23件)
論文
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Reijiro Shimura,
Takanori Mimura,
Takao Shimizu,
Yoshitomo Tanaka,
Yukari Inoue,
Hiroshi Funakubo.
Preparation of near-1-μm-thick {100}-oriented epitaxial Y-doped HfO2 ferroelectric films on (100)Si substrates by an RF magnetron sputtering method,
J.Ceram. Soc. Jpn,
vol. 128,
no. 8,
pp. 539-543,
Aug. 2020.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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志村礼司郎,
三村和仙,
舘山明紀,
清水荘雄,
舟窪浩.
スパッタリング法によるHfO2基強誘電体厚膜のシリコン基板上への室温製膜とその電気特性および圧電特性評価,
第81回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2020.
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志村礼司郎,
三村和仙,
舘山明紀,
清水荘雄,
舟窪浩.
スパッタリング法によるHfO2基強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性評価,
第67回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2020.
その他の論文・著書など
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