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古賀達也 2018年 研究業績一覧 (5件 / 30件)
国際会議発表 (査読有り)
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Shota Otobe,
Tatsuya Koga,
Ken Atsumi,
Daisuke Yamane,
Toshifumi Konishi,
Teruaki Safu,
Shin-ichi Iida,
Hiroyuki. Ito,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes,
31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018),
Nov. 2018.
国内会議発表 (査読有り)
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市川 崇志,
新島 宏文,
古賀 達也,
山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
飯田 慎一,
伊藤 浩之,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討,
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(センサ・マイクロマシン部門大会),
Oct. 2018.
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古賀 達也,
山根 大輔,
小西 敏文,
佐布 晃昭,
飯田 慎一,
伊藤 浩之,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討,
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(センサ・マイクロマシン部門大会),
Oct. 2018.
公式リンク
国内会議発表 (査読なし・不明)
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高安 基大,
古賀 達也,
辻 一平,
伊藤 浩之,
山根 大輔,
道正 志郎,
小西 敏文,
飯田 慎一,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討,
平成30年 電気学会 全国大会,
Mar. 2018.
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古賀 達也,
高安 基大,
山根 大輔,
伊藤 浩之,
小西 敏文,
道正 志郎,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2),
第64回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2018.
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