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古賀達也 2020年 研究業績一覧 (10件 / 30件)
国際会議発表 (査読有り)
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Takashi Ichikawa,
Kohei Shibata,
Tatsuya Koga,
Katsuyuki Machida,
Shinichi Iida,
Noboru Ishihara,
Kazuya Masu,
Hiroyuki Ito.
A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer,
International Conference on Solid State Devices and Materials,
Sept. 2020.
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Takashi Ichikawa,
Ken Atsumi,
Tatsuya Koga,
Daisuke Yamane,
Shin-ichi Iida,
Hiroyuki Ito,
Noboru Ishihara,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes,
Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS,
June 2020.
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Tatsuya Koga,
Takashi Ichikawa,
Daisuke Yamane,
Shinichi Iida,
Noboru Ishihara,
Hiroyuki Ito,
Katsuyuki Machida,
Kazuya Masu.
A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing,
The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020),
Mar. 2020.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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市川 崇志,
内山晃宏,
古賀 達也,
町田 克之,
石原昇,
益 一哉,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
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柴田滉平,
市川 崇志,
古賀 達也,
町田 克之,
益 一哉,
石原昇,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
高分解能単一Au 錘CMOS-MEMS 加速度センサの検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
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内山晃宏,
市川 崇志,
古賀 達也,
町田 克之,
益 一哉,
石原昇,
飯田 慎一,
伊藤 浩之.
Au錘一軸MEMS加速度センサの差動容量型電極構造の検討,
第12回集積化MEMSシンポジウム,
Oct. 2020.
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内山晃宏,
市川 崇志,
古賀達也,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ,
第81回 応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2020.
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市川崇志,
渥美賢,
古賀達也,
飯田慎一,
石原昇,
町田克之,
益一哉,
伊藤浩之.
100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第81回 応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2020.
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市川 崇志,
渥美 賢,
古賀 達也,
山根 大輔,
飯田 慎一,
伊藤 浩之,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討,
第67回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2020.
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渥美 賢,
古賀 達也,
市川 崇志,
山根 大輔,
飯田 慎一,
伊藤 浩之,
石原 昇,
町田 克之,
益 一哉.
ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討,
第67回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2020.
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