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清水哲也 2014年 研究業績一覧 (7件 / 25件)
論文
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Tetsuya Shimizu,
Yuma Ishimoto,
Tso-Fu Mark Chang,
Hikaru Kinashi,
Takashi Nagoshi,
Tatsuo Sato,
Masato Sone.
Cu Wiring into Nano-Scale Holes by Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte with a Continuous Flow Reaction System,
The Journal of Supercritical Fluids,
Elsevier,
Vol. 60,
pp. 60-64,
May 2014.
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曽根 正人,
TSO-FU MARK CHANG,
清水哲也.
超臨界二酸化炭素エマルションを用いためっき法における欠陥の抑制,
表面技術,
表面技術協会,
Vol. 65,
No. 4,
pp. 167-171,
Apr. 2014.
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曽根正人,
Tso-Fu Mark Chang,
清水哲也.
環境調和型ゼロエミッション次世代半導体配線形成方法の開発,
化学と工業,
Vol. 65,
No. 1,
pp. 22-27,
Jan. 2014.
国際会議発表 (査読有り)
学位論文
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超臨界二酸化炭素サスペンションを用いた電解銅めっき法の研究,
本文,
博士(工学),
東京工業大学,
2014/09/25,
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超臨界二酸化炭素サスペンションを用いた電解銅めっき法の研究,
審査の要旨,
博士(工学),
東京工業大学,
2014/09/25,
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超臨界二酸化炭素サスペンションを用いた電解銅めっき法の研究,
論文要旨,
博士(工学),
東京工業大学,
2014/09/25,
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